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  • QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀

    QuickOCT-4D™ 將單點(diǎn)可見(jiàn)光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運(yùn)動(dòng)控制平臺(tái)相結(jié)合,可以在高達(dá) 66 kHz 的單次測(cè)量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達(dá) 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對(duì)半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化。

    更新時(shí)間:2024-11-09
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