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翹曲度測量儀的功能優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在哪里

更新時(shí)間:2020-11-02  |  點(diǎn)擊率:2211

美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。

美國FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀特殊功能優(yōu)點(diǎn):

1、*封閉的設(shè)計(jì),溫度更穩(wěn)定。

2、特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到較低。


3、圖形式使用界面更容易使用。


4、當(dāng)改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設(shè)備會自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔。


5、可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。


6、可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性。


7、可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ,提供給SPC 分析。


8、多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。


9、優(yōu)異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)


10、FSM高溫薄膜應(yīng)力及翹曲度測量儀全3D測繪的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺。


11、測量局部應(yīng)力測量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。


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